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三氯氢硅级硅粉加工设备

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三氯氢硅生产工艺流程

该方法是用冶金级硅粉,作原料,与氯化氢气体反应。可使用铜或铁基催化剂。反应在和0。053下进行2Si+3+4+3H2该反应所用反应器经历了从固定床、搅拌床到流化床的发展过程。工艺也从间歇发展到连续。反应器由碳钢制成,预先将归粒子加入到反应器,加热到所需地温度后,从底部连续通入氯化氢气体,产物及未反应物料被连续输出,经除尘精制后,用于生产高纯多晶硅和高纯硅烷。上述反应是放热反应,反应热为141。8千焦升高温度有利于提高反应速率,但同时导致三氯氢硅选择性下降,通过优化反映温度,可明显提高三氯氢硅的选择率。例如在度和2到5千帕条件下使硅和氯化氢反应,产物以千克

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